多弧離子鍍膜機幾種排氣方法
2020-12-16 來自: 肇慶高要區恒譽真空技術有限公司 瀏覽次數:2479
多弧離子鍍膜機的抽真空通常采用下面幾種排氣方法：單純排氣工藝、抽空加熱排氣工藝、空氣預加熱排氣工藝。
多弧離子鍍膜機單純排氣工藝的方法是，真空離子鍍膜機的真空室從大氣壓、常溫開始用機械泵抽空到15Pa后，再加高真空擴散泵進行抽氣，一直到放氣量降低到允許范圍。
這是一種簡單、普通的獲得高真空的排氣方法。用于真空離子鍍膜機當中的話，抽氣效果極差，不僅抽氣時間需要特別長，而且吸附劑無法得到再活化。因此，單純排氣工藝僅僅適用于不能加熱的多層絕熱量熱器的真空容器的排氣
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